真空爐系統多采用開式循環系統。系統由循環水池，冷卻水循環泵，應急冷卻水箱，板式換熱器等組成。系統中比較關鍵的是需要設置一座有效容積較大的循環水池，此水池在系統正常運轉時僅作為水泵吸水池使用，在停電等緊急情況下，冷水機組或冷卻塔停止運行，無法為真空爐系統提供冷媒的時候，冷卻水循環泵配備應急電繼續工作，將管網及水池內水繼續打循環，因水的比熱大于硅的比熱，利用循環水池內的水把鑄錠爐中高溫硅的熱量吸收掉，從而把鑄錠爐的溫度降下來，保證爐體不至于在停電的時候產生損壞甚至爆炸危險。循環水池的儲水容量的確定即根據將系統中所有爐體內的硅料降溫至安全溫度的時候，水池中的水的溫度不至于升高到冷卻水系統管網及設備不耐受的程度。冷卻水系統必須要為真空爐循環水泵配應急電源，此應急電源一般采用柴油發電機，為了保證在柴油發電機啟動之前，爐體內仍然有冷卻水流過，一般會在真空爐系統中設置一座高位應急冷卻水箱，此水箱中的水在系統停電時，依靠重力流經爐體對爐體進行冷卻。